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技術(shù)詳情

薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變計

這種應(yīng)變計是利用真空沉積技術(shù)將半導(dǎo)體材料沉積在帶有絕緣層的試件上或藍寶石上制成的(圖1)。它通過改變真空沉積時襯底的溫度來控制沉積層電阻率的高低,從而控制電阻溫度系數(shù)和靈敏度系數(shù)。因而能制造出適于不同試件材料的溫度自補償薄膜應(yīng)變計。薄膜型半導(dǎo)體應(yīng)變計吸收了金屬應(yīng)變計和半導(dǎo)體應(yīng)變計的優(yōu)點,并避免了它的缺點,是一種較理想的應(yīng)變計。