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新聞詳情

日本seiwaopt硅晶片背面圖案光源檢測SIS-150 光學測量儀

日本seiwaopt硅晶片背面圖案光源檢測SIS-150 光學測量儀


近紅外鹵素光源

SIS-150（-NIR/-AIR）
近紅外照射裝置

這是一種在近紅外區(qū)域具有峰值的光纖光源裝置。
通過使用專用光學系統(tǒng)和對近紅外區(qū)域敏感的相機， 非常適合無損測試，例如硅晶圓的內(nèi)部檢查和背面圖案的觀察。 專用選項 *可加裝波長選擇帶通濾光片 *可加裝機械快門 *可配256級數(shù)字調(diào)光板 　*模擬數(shù)字調(diào)光板（控制電壓（0-5V） 　*并行調(diào)光板（并行8bit數(shù)字信號） 　*串行調(diào)光板（RS232C串行8bit數(shù)字信號）








模型 SIS-150-近紅外 SIS-150-AIR
額定輸入電壓 交流100~240V 交流100~240V
額定輸入頻率 50/60赫茲 50/60赫茲
照明方式 直流照明方式 直流照明方式
光強調(diào)節(jié) 可變輸出電壓
電壓可變范圍：DC2V至15V
光強可變范圍：0.1%～100% 		可變輸出電壓
電壓可變范圍：DC2V至15V
光強可變范圍：0.1%～100%
保護功能 過流保護電路（重新上電即可恢復）
過溫保護電路（自動恢復） 		過流保護電路（重新上電即可恢復）
過溫保護電路（自動恢復）
冷卻方式 強制風扇冷卻 強制風扇冷卻
工作溫度/濕度 0℃～40℃/20%～80%RH（無凝露） 0℃～40℃/20%～80%RH（無凝露）
功能 燈滅信號輸出：集電極開路發(fā)射極
模擬信號電壓調(diào)光：DC0至5V輸入
遠程燈開/關(guān)：通過施加DC5V關(guān)閉 		燈滅信號輸出：集電極開路發(fā)射極
模擬信號電壓調(diào)光：DC0至5V輸入
遠程燈開/關(guān)：通過施加DC5V關(guān)閉
外形尺寸 W124×H165×D224mm（不含突出部分的尺寸） W124×H165×D224mm（不含突出部分的尺寸）
重量 約2.7公斤 約2.7公斤
照射波長 400～1100nm 400～1700nm
峰值波長 800nm 1000nm
光導 標準規(guī)格 需要專用耐熱光導
專用耐熱光導 SLG-B6-****-UHR （直的） DLG-B6-****-UHR （2家分店）
捆束直徑（毫米） φ6 φ6
*小彎曲R(mm) R40 R40
L尺寸（毫米） 1000 1000
L尺寸（毫米） 2000年 2000年
L尺寸（毫米） 3000 3000
近紅外鹵素光源
近紅外鹵素光源
近紅外鹵素光源